本书大部分材料取自作者在国内外一些大学和工业界培训班讲学的讲稿，同时收集了国际上一些大公司近年来开发的新产品和新技术，反映了当前该领域的技术发展水平。作者以理论与实践相结合，深入浅出地讲述了传感器的工作原理、制作工艺及相关技术、材料、结构、性能、应用和发展现状，涵盖了力、热、湿、气、磁、声、辐射、生物等主要传感器类别，是微电子和仪器科学领域一部不可多得的教材和参考书，特别适合于微电子专业的高年级学生、研究生、研究开发人员和工程技术人员使用和参考。

微传感器和MEMS(微电子机械系统)正在使半导体工业领域发生一场新的变革。微系统也称为“芯片系统”，将微电子电路和微传感器及微执行器组合起来。这一新兴领域已经显示出它们在应用中未来发展的广阔前景，应用范围从电子鼻和智能耳到微型镊子及打印机喷墨头。

本书全面地介绍了微传感器的制作工艺，是一部论述微传感器、MEMS和智能器件成功应用的重要专著。

内容包括：

传统和新型制作工艺介绍，包括硅的体微机械加工、微立体光刻和聚合物加工工艺。

重点介绍IDT(叉指式换能器)微传感器在开发低能耗、无线MEMS或微机械中的应用。

本书涵盖了智能器件的最新应用，包括电子鼻、舌、手指，以及智能传感器和智能结构，如智能皮肤。

通过传感器阵列、传感器信号的参数补偿和专用集成电路技术的应用，对智能敏感器件的发展做了概述。

综合附录介绍了MEMS的材料主要特性、相关网址和本领域中重要的研究机构。

本书有助于读者增进对微系统的理解。其适宜读者群为研究生、微电子专业的研究人员、微传感器系统工程师和开发人员。书中对材料特性的详细介绍，对机械工程师、物理和材料专业工作者具有重要的参考和实用价值。

1 引言

2 电子材料与加工技术

3 微电子机械系统用材料及其制备

4 标准微电子工艺

S 硅微机械加工：体加工技术

6 硅微机械加工：表面加工技术

7 用于MEMS的微立体光刻技术

8 微传感器

9 声表面波器件导论

10 固体中的声表面波

11 叉指换能器(IDT)式微传感器参数测量

12 叉指换能器(IDT)式微传感器的制作

13 叉指换能器(IDT)式微传感器

14 微电子机械系统—叉指换能器式(MEMS—IDT)微传感器

15 智能传感器和微电子机械系统

附录

索引