前言章精密和超精密加工技术概述1节精密和超精密加工技术的发展与现状1第二节精密和超精密加工技术的作用3第三节精密和超精密加工技术发展趋势6结束语8思考题8第二章超精密切削加工和金刚石刀具9节超精密车削技术与金刚石刀具9第二节单晶金刚石刀具切削有色金属10第三节单点金刚石超精密切削KDP晶体13第四节单晶金刚石刀具超精密切削氟化钙15第五节单点金刚石切削技术在EOS靶制备中的应用19第六节金刚石刀具刃磨技术22思考题24第三章精密和超精密磨削加工25节概述25第二节普通磨料砂轮精密磨削32第三节超硬磨料砂轮精密磨削46第四节精密和超精密磨削砂轮的选择与修整49第五节超精密磨削加工53思考题59第四章精密和超精密加工机床60节概述60第二节超精密加工机床现状及典型超精密机床简介61第三节我国超精密加工设备的研发对策与展望70第四节超精密加工机床的关键技术72第五节超精密加工的在线检测74第六节超精密加工的误差补偿78第七节超精密加工的检测设备与仪器83思考题95第五章研磨与抛光96节研磨加工96第二节抛光加工104第三节研磨抛光新技术106第四节曲面超精密抛光110思考题115第六章超精密特种加工技术116节概述116第二节激光加工116第三节电子束微细加工127第四节离子束微细加工133第五节微细电火花加工137第六节超声波微细加工144第七节电化学加工151第八节ELID镜面磨削技术158第九节微细磨料流加工162第十节等离子体加工166第十一节基于微机器人的超精密加工技术168思考题170第七章超精密加工的影响因素172节气源压力波动的影响172第二节环境温、湿度变化和振动的影响173第三节空气的影响177第四节噪声的影响179第五节其他因素的影响179思考题180第八章纳米技术181节概述181第二节纳米尺度的表征方法181第三节纳米级加工技术和原子操纵184思考题192参考文献193

本书以精密和超精密加工技术的最新研究成果为主，重点介绍各种精密和超精密加工技术的原理、特点及应用。具体内容包括：精密和超精密加工技术概述、超精密切削加工和金刚石刀具、精密和超精密磨削加工、精密和超精密加工机床、研磨与抛光、超精密特种加工技术、超精密加工的影响因素和纳米技术。