本书收集了从事微／纳米技术研究的我国专家学者们的研究论文。论文分别从纳米制造的共性技术、纳米制造中的建模、纳米制造技术综述、纳米制造中的检测与控制等方面，较为系统地阐述了微／纳米制造领域所面临的机遇与挑战、当前的研究现状与发展趋势、共性技术的基本原理、关键科学问题及未来的研究方向。本书可供从事微／纳米制造及其相应领域的科技工作者、科研管理人员，以及高等院校有关专业师生阅读、参考。

为做好“纳米制造的基础研究”重大研究计划的立项论证工作，2007年11月7～9日，国家自然科学基金委员会政策局、工程与材料科学部、信息科学部、数理科学部在杭州联合组织召开了主题为“纳米制造前沿”第24期“双清论坛”研讨会，本书是该研讨会的主要成果。从事微／纳米技术研究的我国专家学者，分别从纳米制造的共性技术、纳米制造中的建模、纳米制造技术综述、纳米制造中的检测与控制等方面，较为系统地阐述了微／纳米制造领域所面临的机遇与挑战、当前的研究现状与发展趋势、共性技术的基本原理、关键科学问题及未来的研究方向。

本书可供从事微／纳米制造及其相应领域的科技工作者、科研管理人员，以及高等院校有关专业师生阅读、参考。

序

前言

纳米材料——向自然学习

纳米制造，器件先行

从美国国家点火工程看纳米制造

纳米制造中力学行为的尺度效应、表面效应与跨尺度模拟

纳机电系统(NEMS)建模技术

短脉冲激光微／纳加工方法和机理

超光滑表面制造

纳米压印技术新进展和挑战

基于电化学原理的纳米制造

Top-down(自上而下)的纳米加工技术

纳机电系统制造技术

微纳自组装

纳米制造与微流控器件融合技术

宽禁带纳传感结构制造科学问题

纳米制造与射频集成系统——挑战与机遇

液相纳米制造技术

面向纳米制造的测量与组装技术

纳米操作的研究综述、科学问题与关键技术

纳米制造装备的精密定位及控制

浸没式光刻机的流体传送与控制技术

附录名词术语中英文对照