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绪论

第一部分 纳米结构，微/纳米加工技术和材料

第二部分 微机电系统/纳机电系统和生物微机电系统/纳机电系统

第三部分 扫描探针显微技术

第四部分 纳米摩擦学和纳米力学

第五部分 润滑的分子薄膜

第六部分 工业应用

第七部分 微/纳米器件的可靠性

第八部分 技术融合与纳米技术的掌控

致谢

作者简介

主题词索引

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