本书共分为11章。第一章简述了微电子技术的发展历史，第二章讨论了半导体物理和器件物理基础，第三章介绍集成电路基础，第四章介绍了集成电路制造工艺，第五章介绍集成电路设计，第六章阐述了集成电路计算机辅助设计技术，第七章介绍了SOC的相关知识，第八章简要介绍了光电子器件，第九章讨论了微机电系统技术，第十章介绍了目前极具发展潜力的纳电子器件，第十一章给出微电子技术发展的一些规律和展望。

本书是在2000年1月北京大学出版社出版的《微电子学概论》一书的基础上形成的。本书主要介绍了微电子技术的发展历史，半导体物理和器件物理基础知识，集成电路及SOC的制造、设计以及计算机辅助设计技术基础，光电子器件，微机电系统技术和纳电子器件等的基础知识，最后给出了微电子技术发展的一些规律和展望。本书的特点是让外行的人能够看懂，通过阅读这本书能够对微电子学能有一个总体的、全面的了解；同时让内行的人读完之后不觉得肤浅，体现出了微电子学发展极为迅速的特点，将微电子学领域中的一些最新观点、最新成果涵盖其中。

本书可以作为微电子专业以及电子科学与技术、计算机科学与技术等相关专业的本科生和研究生的教材或教学参考书，同时也可以作为从事微电子或电子信息技术领域工作的科研开发人员、项目管理人员全面了解微电子技术的参考资料。

序言

第二版前言

前言

第一章 绪论

第二章 半导体物理和器件物理基础

第三章 大规模集成电路基础

第四章 集成电路制造工艺

第五章 集成电路设计

第六章 集成电路设计的EDA系统

第七章 系统芯片(SOC)设计

第八章 光电子器件

第九章 微机电系统

第十章 纳电子器件

第十一章 微电子技术发展的规律和趋势

附录A 微电子学领域大事记

附录B 微电子学常用缩略语