本书从强化培养操作技能，掌握一门实用技术的角度出发，较好地体现了本职业当前最新的实用知识与操作技术，对于提高从业人员基本素质，掌握中级集成电路制造工艺的核心知识与技能有直接的帮助和指导作用。

本教材可作为集成电路制造工艺员（国家职业资格四级）职业技能培训与鉴定考核教材，也可供中、高等职业院校相关专业师生，以及相关从业人员参加岗位培训、就业培训使用。

全书分为四个单元，主要内容包括：绪论、半导体基础知识、集成电路制造工艺和集成电路制造相关设备及操作入门等。为便于读者掌握本教材的重点内容，每一单元后附有思考题，用于检验和巩固所学知识与技能。

第1单元绪论

11集成电路产业发展的历史3

12我国集成电路产业发展的历史和现状6

思考题9

第2单元半导体基础知识

21半导体物理基础知识13

22晶体管原理37

思考题44

第3单元集成电路制造工艺

31半导体衬底制备47

32氧化工艺53

33光刻工艺61

34掺杂工艺72

35淀积和刻蚀80

36多层金属化88

37工艺集成95

思考题105

第4单元集成电路制造相关设备及操作入门

41集成电路制造环境和安全生产109

42氧化工艺设备及操作入门116

43光刻工艺设备及操作入门126

44掺杂工艺设备及操作入门134

45淀积与刻蚀工艺设备及操作入门139

46金属化工艺设备及操作入门155

思考题160