本书全面系统地介绍了有关微机电系统的基本知识，内容包括：微机电系统概述、微机电系统的材料、硅集成电路工艺基础、MEMS加工技术、微机电系统的设计方法学、微机电系统的组成、微机电系统检测技术、微机电系统的应用。本书内容丰富，讲解通俗易懂，具有很强的可读性。

本书系统地介绍了有关微机电系统的知识，主要内容包括微机电系统的基本概念、微机电系统所用材料、微机电系统的加工技术、微机电系统的设计技术、微机电系统的组成、检测以及应厍技术。内容详实，图文并茂。

本书可供机械电子工程等有关专业的本科生和研究生作为教材使用，也可供相关领域的工程技术人员以及有关科技管理部门的人员参考使用。

前言

1 微机电系统概述

 1.1微机电系统技术的基本概念及特点

 1.2微机电系统的研究领域

 1.3微机电系统采用的材料

 1.4主要工艺技术

 1.5微机电系统技术的发展

 1.6微机电系统的应用前景

 参考文献

2 微机电系统的材料

 2.1概述

 2.2硅

 2.3陶瓷

 2.4金属

 2.5凝胶

 2.6电流变体(Electro－rheological fluids，ERF)

 2.7磁流变体(Magneto－rheological fluids，MRF) 

 参考文献

3 硅集成电路工艺基础

 3.1薄膜生长

 3.2光刻

 3.3薄膜刻蚀

 参考文献

4 MEMS加工技术

 4.1硅的湿法腐蚀

 4.2硅的深刻蚀技术

 4.3键合与双面光刻技术

 4.4集成工艺

 4.5其他工艺技术

 参考文献

5 微机电系统的设计方法学

 5.1 MEMS设计概述

 5.2 MEMS系统级设计

 5.3 MEMS器件级设计

 5.4 MEMS工艺设计

 5.5版图设计

 5.6 IMEE系统及其设计实例

 参考文献

6 微机电系统的组成

 6.1微机械传感器

 6.2微驱动器

 6.3微能源

 参考文献

7 微机电系统检测技术

 7.1概述

 7.2微几何量测量

 7.3微机械材料特性检测

 参考文献

8 微机电系统的应用

 8.1微机电系统在医学中的应用

 8.2微机电系统在汽车中的应用

 8.3微机电系统在信息技术中的应用

 8.4微机电系统在军事领域中的应用

 参考文献