本书是“真空工程技术丛书”之一，该书是在《真空》杂志连载的“真空技术讲座”内容的基础上，进行了大量的修改和补充，使基础理论知识更加系统化，实践应用上的内容更加丰富充实，增加了许多高科技领域、新型真空材料的内容。本书可供从事真空工程、低温工程、表面与薄膜技术、流体机械、航空航天技术等领域的工程技术人员在真空系统设计、应用、维护、检修时参考，也可作为真空技术、过程装备与控制、应用物理、流体机械、低温工程、机械设计与制造等专业学生(本科生和研究生)的教材或参考书。

1 真空材料概述

1.1 真空材料的分类

1.2 电真空材料的分类与特性

 1.2.1 电真空材料的分类

 1.2.2 电真空材料的特性

1.3 真空系统平衡方程

2 材料的气体渗透与扩散

2.1 气体分子的溶解与渗透

2.2 影响溶解度的因素

 2.2.1 环境气压对溶解度的影响

 2.2.2 温度对溶解度的影响

 2.2.3 气体一固体配组的性质对溶解度的影响

2.3 不同材料中的气体溶解度

 2.3.1 气体在金属中的溶解度

 2.3.2 气体在非金属材料中的溶解度

2.4 气体扩散方程

2.5 气体渗透速率

 2.5.1 气体对平板壁的渗透

 2.5.2 气体对圆筒壁的渗透

 2.5.3 气体对球形壁的渗透

 2.5.4 不同气体一固体配组的渗透性能

3 材料的放气

4 材料的蒸发、升华与凝结

5 真空材料的其他性能与选材要求

6 金属材料

7 磁性材料

8 溅射镀膜靶材

9 非金属材料

10 辅助密封材料

11 吸气剂与吸附剂

12 真空工程用油

13 真空工程中的常用气体

14 低温制冷系统工作介质

参考文献