为规范微波集成组件生产工厂工艺设计，做到技术优选、安全适用、经济合理、节能环保，制定本标准。
本标准适用于新建、改建和扩建微波集成组件生产工厂工艺设计。
微波集成组件生产工厂工艺设计除应符合本标准外，尚应符合国家现行有关标准的规定。
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目录
1总则
2术语
3总体设计
4厂房设计
4.1厂址选择及布局
4.2建筑
4.3结构
5工艺布局
5.1一般要求
5.2功能区划
6工艺设计要求
6.1一般要求
6.2设备配置
6.3工艺要求
7公用工程
7.1通风、空调与净化
7.2给排水
7.3气体
8电气、照明与通信
本标准用词说明
引用标准名录
附：条文说明
2术语
3总体设计
4厂房设计
4.1厂址选择及布局
4.2建筑
4.3结构
5工艺布局
5.1一般要求
5.2功能区划
6工艺设计要求
6.1一般要求
6.2设备配置
6.3工艺要求
7公用工程
7.1通风、空调与净化
7.2给排水
7.3气体
8电气、照明与通信
本标准用词说明
引用标准名录
附：条文说明
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