本书介绍了微纳米技术领域的各种微纳运动系统及其相关实现技术。全书共7章：章主要是微纳技术及微纳技术应用与发展的综述；第2章主要介绍了基于智能材料的常见的微纳驱动技术类型及特性；第3章主要介绍了微纳运动检测技术；第4章概括性地介绍了微纳运动系统控制策略；第5章介绍了基于直线电机的单自由度微纳定位实现技术，主论了电磁式和压电超声式两种情况；第6章主要介绍了单自由度宏微复合微纳运动的实现技术，并讨论了非线性因素对微纳运动性能的影响和补偿策略；第7章重点介绍了本书作者提出的宏宏复合微纳运动的实现技术、性能特点及低速性能。
本书具有很强的针对性、概括性和指导性。通过本书，读者可以系统、全面地了解各种微纳运动实现技术。本书可作为精密机械工程、机电工程、控制工程、仪器科学与工程、材料科学工程、微电子科学等专业本科生、研究生关于微纳制造的导论性教材，同时也可作为医工交叉学科及其他相关领域研究生和广大科学工作者、工程技术人员的学习参考资料。

章绪论（1）
1.1微纳技术的理解（1）
1.2微纳技术的应用（3）
1.3微纳运动实现技术及进展（22）
第2章智能材料微纳驱动技术（31）
2.1概述（31）
2.2形状记忆合金微纳驱动技术（32）
2.3超磁致伸缩材料微纳驱动技术（38）
2.4压电陶瓷微纳驱动技术（41）
2.5热微纳机电驱动技术（50）
第3章微纳运动的传感检测（54）
3.1概述（54）
3.2微纳位移传感技术（54）
3.3激光干涉微纳检测技术（74）
3.4其他先进微纳检测技术（80）
第4章微纳运动控制技术（83）
4.1概述（83）
4.2常用微纳运动控制策略（83）
4.3其他先进控制策略及研究（100）
第5章直线电机微纳运动系统技术（103）
5.1概述（103）
5.2电磁式直线电机微纳运动系统（104）
5.3压电超声电机微纳运动系统（110）
第6章宏微复合微纳运动实现技术（120）
6.1概述（120）
6.2宏微复合微纳运动系统（121）
6.3宏微复合微纳运动系统的非线性影响及控制（124）
6.4宏微复合微纳运动系统应用（135）
第7章宏宏复合微纳运动实现技术（138）
7.1宏宏复合微纳运动系统工作原理（138）
7.2宏宏复合微纳运动系统的动力学模型（144）
7.3宏宏复合微纳运动系统的低速特性（152）
参考文献（164）